真空碳管爐由爐身、爐蓋、真空系統、電氣系統和水冷系統等部分組成。爐身采用水冷夾層結構。

    爐蓋可以借彈簧力開啟。爐體上設有二個觀察窗，可以觀察工件加熱的情況。爐內裝有石墨電極，它是由互相絕緣的兩個半圓組成的與石墨發熱體在其縱向開了數條細封，以增加電阻，并使發熱體可以一端通電，而另外一端在加熱時允許自由的膨漲。

發熱體的周圍有多層隔熱屏裝置，其組裝在一起便于取出爐外。

真空系統是由擴散泵、機械泵以及真空閥等組成。真空的測量采用熱偶真空計和電離真空計。電氣系統由可控硅電壓調整器、低電壓變壓器及控制柜所組成。